Bomba de vácuo de palhetas secas InPower usada na indústria de semicondutores para criar um ambiente de vácuo limpo e seco. Encontre uma ampla gama de aplicações na indústria de semicondutores devido à sua limpeza, confiabilidade e eficiência. Essas bombas são essenciais para processos como deposição química de vapor, deposição física de vapor, implantação de íons e corrosão.
Características:
Bombas de vácuo de palhetas secas são um tipo de bomba de vácuo que combina os benefícios da tecnologia de parafuso seco com resfriamento a água para melhorar o desempenho e a eficiência. Elas oferecem uma solução confiável, eficiente e de baixa manutenção para aplicações de vácuo exigentes que exigem operação a seco e dissipação de calor eficaz.
Modelo:LGB30/50/70/110/150/180/200/220/270/300/360/400/500
Vácuo máximo: Menor ou igual a 1Pa
VELOCIDADE 50 Hz:30-500 L/s
VELOCIDADE 60 Hz:36 - 600 L/s
|
Modelo |
LGB30 |
LGB50 |
LGB70 |
LGB110 |
LGB150 |
LGB180 |
LGB200 |
LGB220 |
LGB270 |
LGB300 |
LGB360 |
LGB400 |
LGB500 |
||
|
VELOCIDADE(50Hz) |
L/s |
30 |
50 |
83 |
110 |
150 |
180 |
200 |
230 |
270 |
300 |
360 |
360 |
500 |
|
|
m3/h |
110 |
180 |
300 |
400 |
540 |
650 |
720 |
830 |
970 |
1080 |
1300 |
1500 |
1800 |
||
|
Vácuo final (50Hz) |
Pai |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
|
|
Pressão máxima de exaustão |
barra |
1.2 |
1.2 |
1.2 |
1.2 |
1.2 |
1.2 |
1.5 |
1.2 |
1.2 |
1.2 |
1.2 |
1.2 |
1.2 |
|
|
POTÊNCIA(50Hz) |
Potência |
4 |
4 |
5.5/7.5 |
11 |
15 |
15 |
18.5 |
18.5 |
22 |
30 |
37 |
37 |
37 |
|
|
Velocidade do motor (50 Hz) |
RPM |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
|
|
Conectar |
EM |
milímetros |
50 |
50 |
65 |
65 |
100 |
100 |
150 |
150 |
150 |
150 |
150 |
150 |
150 |
|
FORA |
milímetros |
40 |
40 |
65 |
65 |
80 |
80 |
100 |
100 |
100 |
100 |
100 |
100 |
100 |
|
|
Água |
Fluxo |
L/min |
6 |
6 |
10 |
15 |
20 |
20 |
25 |
25 |
28 |
28 |
28 |
28 |
28 |
|
Pressão |
Mpa |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
|
|
Conectar |
G3/8" |
G1/2" |
G1/2" |
G1/2" |
G1/2" |
G1/2" |
G1/2" |
G1/2" |
G1/2" |
G1/2" |
G1/2" |
G1/2" |
G1/2" |
||
|
Método de resfriamento |
Ar/Água |
Ar/Água |
Água |
Água |
Água |
Água |
Água |
Água |
Água |
Água |
Água |
Água |
Água |
Água |
|
|
Barulho |
Db |
75 |
75 |
75 |
76 |
76 |
78 |
78 |
78 |
80 |
80 |
85 |
85 |
85 |
|
|
Peso |
Kg |
310 |
310 |
475 |
570 |
840 |
840 |
1200 |
1220 |
1250 |
1300 |
1350 |
1380 |
1400 |
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|
Requisitos especiais |
De acordo com os requisitos, pode ser configurado com frequência variável, anticorrosão, à prova de explosão, etc. |
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Bomba de vácuo de palhetas secas inPower Área de aplicação:
Fabricação de semicondutores:
Em processos de fabricação de semicondutores, como CVD, PVD, implantação iônica e corrosão, bombas de vácuo de parafuso seco resfriadas a água ajudam a manter os níveis de vácuo necessários, ao mesmo tempo em que oferecem dissipação de calor eficiente para garantir um desempenho consistente.
Deposição de película fina:
Bombas de parafuso secas resfriadas a água são usadas em técnicas de deposição de películas finas, como pulverização catódica e evaporação, onde o controle preciso do vácuo e o gerenciamento do calor são essenciais para depositar películas finas uniformes em substratos.
Processos de tratamento térmico:
Indústrias envolvidas em processos de tratamento térmico, como metalurgia e aeroespacial, contam com bombas de vácuo de parafuso seco resfriadas a água para criar ambientes de vácuo para recozimento, brasagem e outros tratamentos de alta temperatura, mantendo o sistema resfriado.
Processamento Químico e Farmacêutico:
Bombas de parafuso secas resfriadas a água desempenham um papel crucial em aplicações de processamento químico onde é necessário manter um vácuo limpo e seco para reações, destilação e processos de recuperação de solventes.
Pesquisa e desenvolvimento:
Laboratórios e instalações de pesquisa em vários setores usam bombas de vácuo de parafuso secas resfriadas a água para testes e experimentações, fornecendo condições de vácuo confiáveis para estudar materiais, processos e equipamentos.
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