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Bomba de vácuo de palheta seca

Bomba de vácuo de palheta seca InPower usada na indústria de semicondutores para criar um ambiente de vácuo limpo e seco. Encontre uma ampla gama de aplicações na indústria de semicondutores devido à sua limpeza, confiabilidade e eficiência. Essas bombas são essenciais para processos como deposição química de vapor, deposição física de vapor, implantação de íons e corrosão. Características: Bomba de vácuo de palheta seca é um tipo de bomba de vácuo que combina os benefícios da tecnologia de parafuso seco com resfriamento a água para melhorar o desempenho e a eficiência. Ela oferece uma solução confiável, eficiente e de baixa manutenção para aplicações de vácuo exigentes que exigem operação a seco e dissipação de calor eficaz.
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Introdução de Produto

Bomba de vácuo de palhetas secas InPower usada na indústria de semicondutores para criar um ambiente de vácuo limpo e seco. Encontre uma ampla gama de aplicações na indústria de semicondutores devido à sua limpeza, confiabilidade e eficiência. Essas bombas são essenciais para processos como deposição química de vapor, deposição física de vapor, implantação de íons e corrosão.

 

Características:

Bombas de vácuo de palhetas secas são um tipo de bomba de vácuo que combina os benefícios da tecnologia de parafuso seco com resfriamento a água para melhorar o desempenho e a eficiência. Elas oferecem uma solução confiável, eficiente e de baixa manutenção para aplicações de vácuo exigentes que exigem operação a seco e dissipação de calor eficaz.

 

Modelo:LGB30/50/70/110/150/180/200/220/270/300/360/400/500

Vácuo máximo: Menor ou igual a 1Pa

VELOCIDADE 50 Hz:30-500 L/s

VELOCIDADE 60 Hz:36 - 600 L/s

 

Modelo

LGB30

LGB50

LGB70

LGB110

LGB150

LGB180

LGB200

LGB220

LGB270

LGB300

LGB360

LGB400

LGB500

 

VELOCIDADE(50Hz)

L/s

30

50

83

110

150

180

200

230

270

300

360

360

500

m3/h

110

180

300

400

540

650

720

830

970

1080

1300

1500

1800

Vácuo final (50Hz)

Pai

5

5

5

5

5

5

5

5

5

5

5

5

5

Pressão máxima de exaustão

barra

1.2

1.2

1.2

1.2

1.2

1.2

1.5

1.2

1.2

1.2

1.2

1.2

1.2

POTÊNCIA(50Hz)

Potência

4

4

5.5/7.5

11

15

15

18.5

18.5

22

30

37

37

37

Velocidade do motor (50 Hz)

RPM

2880

2880

2880

2880

2880

2880

2880

2880

2880

2880

2880

2880

2880

 

Conectar

EM

milímetros

50

50

65

65

100

100

150

150

150

150

150

150

150

FORA

milímetros

40

40

65

65

80

80

100

100

100

100

100

100

100

 

Água

Fluxo

L/min

6

6

10

15

20

20

25

25

28

28

28

28

28

Pressão

Mpa

0.2-0.35

0.2-0.35

0.2-0.35

0.2-0.35

0.2-0.35

0.2-0.35

0.2-0.35

0.2-0.35

0.2-0.35

0.2-0.35

0.2-0.35

0.2-0.35

0.2-0.35

Conectar

G3/8"

G1/2"

G1/2"

G1/2"

G1/2"

G1/2"

G1/2"

G1/2"

G1/2"

G1/2"

G1/2"

G1/2"

G1/2"

Método de resfriamento

Ar/Água

Ar/Água

Água

Água

Água

Água

Água

Água

Água

Água

Água

Água

Água

Água

Barulho

Db

75

75

75

76

76

78

78

78

80

80

85

85

85

Peso

Kg

310

310

475

570

840

840

1200

1220

1250

1300

1350

1380

1400

Requisitos especiais

De acordo com os requisitos, pode ser configurado com frequência variável, anticorrosão, à prova de explosão, etc.

Bomba de vácuo de palhetas secas inPower Área de aplicação:

 

Fabricação de semicondutores:

Em processos de fabricação de semicondutores, como CVD, PVD, implantação iônica e corrosão, bombas de vácuo de parafuso seco resfriadas a água ajudam a manter os níveis de vácuo necessários, ao mesmo tempo em que oferecem dissipação de calor eficiente para garantir um desempenho consistente.

 

Deposição de película fina:

Bombas de parafuso secas resfriadas a água são usadas em técnicas de deposição de películas finas, como pulverização catódica e evaporação, onde o controle preciso do vácuo e o gerenciamento do calor são essenciais para depositar películas finas uniformes em substratos.

 

Processos de tratamento térmico:

Indústrias envolvidas em processos de tratamento térmico, como metalurgia e aeroespacial, contam com bombas de vácuo de parafuso seco resfriadas a água para criar ambientes de vácuo para recozimento, brasagem e outros tratamentos de alta temperatura, mantendo o sistema resfriado.

 

Processamento Químico e Farmacêutico:

Bombas de parafuso secas resfriadas a água desempenham um papel crucial em aplicações de processamento químico onde é necessário manter um vácuo limpo e seco para reações, destilação e processos de recuperação de solventes.

 

Pesquisa e desenvolvimento:

Laboratórios e instalações de pesquisa em vários setores usam bombas de vácuo de parafuso secas resfriadas a água para testes e experimentações, fornecendo condições de vácuo confiáveis ​​para estudar materiais, processos e equipamentos.

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